半導(dǎo)體裝備

長晶爐設(shè)備

????????晶體生長工藝是由多晶物質(zhì)在一定的物理條件或化學(xué)條件作用下,由氣相、液相形成固相單晶的過程。通過單晶生長設(shè)備,在一定的條件下,將多晶物質(zhì)轉(zhuǎn)變成氣相或者液相,再通過調(diào)節(jié)生長系統(tǒng)的溫場和氣場條件,使多晶氣相或者液相物質(zhì)在籽晶處沉積結(jié)晶,逐步長厚長大,形成單晶。北方華創(chuàng)可提供多種半導(dǎo)體單晶生長爐,產(chǎn)品覆蓋多個領(lǐng)域,目前主流產(chǎn)品SiC長晶爐,已進入國內(nèi)多家主流客戶,累計裝機量超過數(shù)千臺。
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