半導(dǎo)體裝備

功率半導(dǎo)體

  采用IGBT及Super Junction等結(jié)構(gòu)制造的功率器件,具有高速、低損耗的特點(diǎn),在風(fēng)電、光伏、智能電網(wǎng)、有軌交通、汽車電子等新興產(chǎn)業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。   

  在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域,北方華創(chuàng)自主研發(fā)的刻蝕機(jī)、物理氣相沉積設(shè)備、立式爐設(shè)備、清洗機(jī)、單/ 多片式硅外延設(shè)備以及臥式氧化/ 擴(kuò)散爐已獲得多家功率器件客戶的認(rèn)可和批量采購(gòu)。

  • 等離子刻蝕設(shè)備
  • 物理氣相沉積設(shè)備
  • 化學(xué)氣相沉積設(shè)備
  • 氧化擴(kuò)散設(shè)備
  • 濕法設(shè)備
  • 氣體測(cè)量控制
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