石墨純化是在超高溫狀態(tài)下通入鹵素氣體（氯氣或鹵代烴）與石墨材料進(jìn)行反應(yīng)，使石墨中有價(jià)金屬轉(zhuǎn)變成熔沸點(diǎn)較低的氣相或凝聚相的氯化物及絡(luò)合物，最終與其它組分分離而逸出。石墨純化后其純度可達(dá)99.999%以上，可滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求，已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)、外延、離子注入、等離子蝕刻等制造工藝中。為滿足國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體、光伏單晶、新能源等領(lǐng)域?qū)Ω呒兪枨?，北方華創(chuàng)自主研發(fā)了多款石墨純化爐，產(chǎn)品涵蓋了常用溫區(qū)尺寸及進(jìn)氣方式，多種組合可以滿足不同領(lǐng)域客戶多樣性的需求。