半導(dǎo)體裝備 Semiconductor

NVT-HG

單晶生長爐

聯(lián)系咨詢
NVT-HG 單晶生長爐
NVT-HG Single Crystal Growing Furnace
NVT-HG系列單晶生長爐主于光伏產(chǎn)業(yè)8-12英寸單晶硅制備工藝,該機(jī)臺(tái)具有大投料量,高拉速,低能耗,自動(dòng)化、智能化的優(yōu)點(diǎn)。能夠進(jìn)行全自動(dòng)并進(jìn)行工藝處理。系統(tǒng)主要由籽晶升降/旋轉(zhuǎn)系統(tǒng),坩堝升降/旋轉(zhuǎn)系統(tǒng),熱屏升降系統(tǒng),旋閥、真空腔室、輔助功能單元及電控系統(tǒng)組成。
設(shè)備特點(diǎn)
  • 單臺(tái)4 噸以上的月產(chǎn)能,實(shí)現(xiàn)單晶硅棒量產(chǎn)
  • 合理的爐體布局,使得爐子能耗同比下降10%
  • 大尺寸的主室為大投料量留下了空間
  • 具備連續(xù)加料器裝置
產(chǎn)品應(yīng)用
  • 熱場尺寸
    26"
  • 晶體直徑
    Φ6"~Φ12"
  • 主室尺寸
    Φ1100×1400mm
  • 副室尺寸
    Φ350×3800mm
  • 加熱功率( 主加與副加)
    165KW+65KW
  • 籽晶拉速
    >1.6mm/min
  • 坩堝升速
    0.02~1.0mm/min
  • 適用領(lǐng)域
    新能源光伏
分享我們:
微信掃一掃
聯(lián)系我們
官方公眾號