移載傳送設(shè)備(Indexer)應(yīng)用在平板顯示領(lǐng)域,是用來(lái)承載Stocker傳送過(guò)來(lái)的晶圓承載盒(CST),并對(duì)CST進(jìn)行歸正定位,通過(guò)機(jī)械手給設(shè)備輸送或接受基板,以此協(xié)助制程設(shè)備完成基板的整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程。
北方華創(chuàng)開(kāi)發(fā)的CVI玻璃對(duì)位索引機(jī)(CVI Indexer)設(shè)備采用合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),擁有響應(yīng)速度快的控制系統(tǒng),從而保證系統(tǒng)具有良好的動(dòng)態(tài)品質(zhì)。設(shè)備的使用、操作、維修方便,且造型美觀、結(jié)構(gòu)緊湊,整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定可靠。