半導體裝備

移載傳送設備

移載傳送設備(Indexer)應用在平板顯示領域,是用來承載Stocker傳送過來的晶圓承載盒(CST),并對CST進行歸正定位,通過機械手給設備輸送或接受基板,以此協(xié)助制程設備完成基板的整個生產過程。   

北方華創(chuàng)開發(fā)的CVI玻璃對位索引機(CVI Indexer)設備采用合理的結構設計,擁有響應速度快的控制系統(tǒng),從而保證系統(tǒng)具有良好的動態(tài)品質。設備的使用、操作、維修方便,且造型美觀、結構緊湊,整機運行穩(wěn)定可靠。

平板顯示及智能自動化

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