半導(dǎo)體裝備

紫外線固化爐

紫外線固化(UV Curing)是光化學(xué)反應(yīng),與傳統(tǒng)的干燥固化過程原理不同,傳統(tǒng)的干燥固化一般借助于涂敷材料中溶劑的揮發(fā)而形成硬化,而紫外固化則無(wú)溶劑揮發(fā)。紫外線固化是輻射固化的一種,是利用紫外線UV在極短時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生輻射聚合、輻射交聯(lián)等光化學(xué)反應(yīng),迅速將低分子量物質(zhì)轉(zhuǎn)變成高分子量產(chǎn)物的化學(xué)過程,體系中不含溶劑或含極少量溶劑,輻照后液膜幾乎100%固化,因而VOC(揮發(fā)性有機(jī)化合物)排放量很低。自2000年以來(lái),這一新型固化技術(shù)在國(guó)際上得到飛速發(fā)展,其產(chǎn)品在許多行業(yè)都得到廣泛應(yīng)用。

北方華創(chuàng)的紫外線固化爐(UV Cure)設(shè)備主要用于TFT-LCD 工藝中邊框膠的紫外線固化,設(shè)備外形緊湊,能對(duì)應(yīng)各世代ODF產(chǎn)線布局,承載Panel的基臺(tái)能精確平動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng),UV照射光強(qiáng)、累積光量均勻性好,并能精確閉環(huán)控制。

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