北方華創(chuàng)可提供的輔助設(shè)備包含：熱回收系統(tǒng)、有機(jī)溶劑回收系統(tǒng)、離子微粒吸附設(shè)備、精密恒溫恒濕機(jī)、PE系列 4/6英寸晶圓倒片機(jī)等產(chǎn)品。其中熱回收系統(tǒng)、有機(jī)溶劑回收系統(tǒng)、離子微粒吸附設(shè)備、精密恒溫恒濕機(jī)應(yīng)用于平板顯示領(lǐng)域，可有效節(jié)約客戶能耗、提高工藝機(jī)臺微環(huán)境潔凈度、保障產(chǎn)線端的溫濕度水平；PE系列 4/6英寸晶圓倒片機(jī)可為LED芯片制造企業(yè)的工藝機(jī)臺提供自動上下片功能，可有效避免人工向工藝機(jī)臺裝載晶圓時出現(xiàn)的掉片、劃傷、顆粒沾污等問題，提高LED產(chǎn)線產(chǎn)品良率，優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)。