物理氣相沉積技術是指在真空條件下,采用物理方法,將材料源表面轉化成原子、分子或部分電離成離子,并通過低壓氣體(或等離子體)過程,在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。PVD設備使得鍍膜厚度及均勻性可控,且制備的薄膜致密性好、粘結力強及純凈度高,現(xiàn)已廣泛應用于電子、光學、機械、建筑、輕工、冶金、材料等各類工業(yè)領域,可制備具有耐磨、耐腐蝕、導電、絕緣、光導、壓電、磁性、潤滑、超導等特性的膜層,該技術已經(jīng)成為制備各種功能薄膜的重要手段。北方華創(chuàng)憑借在大尺寸平面和旋轉陰極設計、磁場仿真開發(fā)、平衡與非平衡磁控濺射、陰極電弧源、離子源表面刻蝕和輔助沉積等多項關鍵技術的積累創(chuàng)新,現(xiàn)已有連續(xù)式磁控鍍膜裝備、柔性基材卷繞鍍膜裝備、單體復合型真空鍍膜設備。產(chǎn)品覆蓋鋰電復合集流體、磁性材料稀土擴滲層、柔性透明導電層以及醫(yī)療器械和汽車零部件等工件表面功能層的制備,可為鋰電、光伏、氫能等新能源行業(yè),以及醫(yī)療、消費器件、汽車零部件等其他工業(yè)領域,提供真空鍍膜裝備及技術開發(fā)服務。