真空裝備 Vacuum Tech

CRJM/CZRJM Series

真空卷繞PVD鍍膜設(shè)備

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CRJM/CZRJM Series 真空卷繞PVD鍍膜設(shè)備
CRJM/CZRJM Series Roll to Roll Web PVD Coater
CRJM/CZRJM系列產(chǎn)品主要用于柔性基材表面的真空鍍膜。該類設(shè)備為卷對卷結(jié)構(gòu)形式,可以實(shí)現(xiàn)對各類金屬箔材以及塑料基材的真空卷繞,并實(shí)現(xiàn)基材表面金屬、化合物和絕緣材料的真空沉積。設(shè)備由卷繞、濺射、主體腔室、真空、冷卻、主鼓冷熱循環(huán)等各系統(tǒng)組成。
設(shè)備特點(diǎn)
  • 優(yōu)化的腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),鍍膜沉積環(huán)境整體控制,保障成膜質(zhì)量
  • 良好的氣氛隔離技術(shù),兼容金屬濺射和反應(yīng)濺射同時(shí)工作
  • 精確的張力控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)分段張力控制
  • 靈活的卷繞系統(tǒng)設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)正、反卷繞,可兼容各種厚度基材
  • 特制磁場低溫沉積技術(shù),偏壓吸附技術(shù),實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)沉積速率
技術(shù)指標(biāo)
  • 柔性基材
    適用于金屬箔、柔性塑料、玻璃纖維布、石墨等基材
  • 基材厚度
    ≥4.5μm
  • 主鼓溫度
    -35~35℃
  • 卷繞速度
    0.5~300m/min
  • 張力范圍
    15~600N,控制精度范圍±2N
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