CRJM/CZRJM Series 真空卷繞PVD鍍膜設(shè)備
CRJM/CZRJM Series Roll to Roll Web PVD Coater
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 優(yōu)化的腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),鍍膜沉積環(huán)境整體控制,保障成膜質(zhì)量
- 良好的氣氛隔離技術(shù),兼容金屬濺射和反應(yīng)濺射同時(shí)工作
- 精確的張力控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)分段張力控制
- 靈活的卷繞系統(tǒng)設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)正、反卷繞,可兼容各種厚度基材
- 特制磁場低溫沉積技術(shù),偏壓吸附技術(shù),實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)沉積速率
- 技術(shù)指標(biāo)
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- 柔性基材適用于金屬箔、柔性塑料、玻璃纖維布、石墨等基材
- 基材厚度≥4.5μm
- 主鼓溫度-35~35℃
- 卷繞速度0.5~300m/min
- 張力范圍15~600N,控制精度范圍±2N