CWP系列產(chǎn)品陰極均水平安裝，產(chǎn)品裝夾在載板上從陰極處連續(xù)通過(guò)。設(shè)備由多組模塊化真空腔室組成，腔室內(nèi)可配置平面陰極或移動(dòng)平面陰極、旋轉(zhuǎn)陰極、線性離子源等功能部件，可對(duì)工件表面進(jìn)行離子清洗和刻蝕，實(shí)現(xiàn)金屬、金屬化合物等各類材料的真空沉積。