半導(dǎo)體裝備 Semiconductor

CVI Series

裝載卸載設(shè)備

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CVI Series 裝載卸載設(shè)備
CVI Series Indexer
CVI 系列裝載卸載設(shè)備是連接工藝設(shè)備(EQ)和智能化物流倉儲系統(tǒng)(STK),使設(shè)備工藝制程順利完成的系統(tǒng)。Indexer由Port和Fence兩部分組成,Port部分的功能是存放裝有Glass的卡匣,F(xiàn)ence部分的功能是為Robot提供安全的作業(yè)空間。TFT-LCD液晶顯示面板的構(gòu)造如同三明治一般,將液晶夾在兩片玻璃基板之間,這兩片玻璃基板就是TFTArray玻璃與彩色濾光片。TFT-LCD必須在精密的無塵室內(nèi),經(jīng)過300道以上的制程生產(chǎn)出來。CVI 系列裝載卸載設(shè)備可以為客戶提供玻璃基板在300道工藝中的流轉(zhuǎn),設(shè)備穩(wěn)定可靠,精度精確。
設(shè)備特點(diǎn)
  • 結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,技術(shù)成熟,具有良好的動態(tài)品質(zhì)
  • 控制系統(tǒng)精度高,可靠性好,響應(yīng)速度快
  • 操作簡單,維修方便,整機(jī)運(yùn)行穩(wěn)定可靠
產(chǎn)品應(yīng)用
  • 面板尺寸
    3370mm×2940mm/0.4 ~ 1.1T
  • 潔凈度等級
    ISO Class10
  • 通訊響應(yīng)時間
    <0.1 秒
  • 裝卸響應(yīng)時間
    ≤10 秒
  • 適用領(lǐng)域
    平板顯示產(chǎn)線生產(chǎn)過程中面板的傳送存儲
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