HORIS D12 擴散系統(tǒng)
HORIS D12 Diffusion System
- 設備特點
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- 配備自動上下料系統(tǒng),可對接各類廠家倒片機,成熟的MES接口經驗
- 高精度控溫,源瓶壓力控制,在線工藝調整
- 工藝結果的一致性、穩(wěn)定性優(yōu)良
- 耐高溫密封,大容積過濾,自動廢液收集,多預警功能,維護性和安全性高
- 3C系統(tǒng)可對同一工序的所有機臺進行監(jiān)控及數(shù)據(jù)分析
- 產品應用
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- 適用硅片尺寸156mm~230mm
- 裝片量1600~2880 片/管
- 單機臺管數(shù)4、5、6、10、12管/系統(tǒng)
- 溫度范圍600~1100℃
- 壓力調節(jié)范圍35mbar-ATM連續(xù)可調
- 工藝種類低壓磷/硼擴散、常/低壓退火/氧化、常壓退火/氧化、H?退火
- 適用領域新能源光伏
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