HORIS D12 擴散系統(tǒng)
HORIS D12 Diffusion System
- 設備特點
-
- 配備自動上下料系統(tǒng)，可對接各類廠家倒片機，成熟的MES接口經驗
- 高精度控溫，源瓶壓力控制，在線工藝調整
- 工藝結果的一致性、穩(wěn)定性優(yōu)良
- 耐高溫密封，大容積過濾，自動廢液收集，多預警功能，維護性和安全性高
- 3C系統(tǒng)可對同一工序的所有機臺進行監(jiān)控及數(shù)據(jù)分析
- 產品應用
-
- 適用硅片尺寸156mm~230mm
- 裝片量1600~2880 片/管
- 單機臺管數(shù)4、5、6、10、12管/系統(tǒng)
- 溫度范圍600~1100℃
- 壓力調節(jié)范圍35mbar-ATM連續(xù)可調
- 工藝種類低壓磷/硼擴散、常/低壓退火/氧化、常壓退火/氧化、H?退火
- 適用領域新能源光伏
