WS-PE100/150 倒片機
WS-PE100/150 Wafer Sorter
- 設(shè)備特點
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- 晶圓全自動取放
- 人工替代，良好控制顆粒
- 高精度、高柔性六軸機械手，更穩(wěn)定、更可靠
- 半導(dǎo)體級非接觸式伯努利吸盤，吸附均勻，低破率、更安全
- 稼動率高，有效節(jié)約客戶成本
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸4、6 英寸
- 劃傷率≤0.03%
- 通訊響應(yīng)時間＜0.5 秒
- 裝卸響應(yīng)時間≤12 秒
- 適用領(lǐng)域半導(dǎo)體照明
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