半導(dǎo)體裝備 Semiconductor

WS-PE100/150

倒片機

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WS-PE100/150 倒片機
WS-PE100/150 Wafer Sorter
WS-PE100/150 倒片機中包含1臺6軸機械手組件,設(shè)備前端設(shè)有6個Loadport工位,每3個對應(yīng)1個腔室。設(shè)有2個Buffer工位,每個Buffer上可以放19片Wafer對應(yīng)1個腔室中的4寸Wafer,2個冷卻工位分別對應(yīng)左右2個腔室。
設(shè)備特點
  • 晶圓全自動取放
  • 人工替代,良好控制顆粒
  • 高精度、高柔性六軸機械手,更穩(wěn)定、更可靠
  • 半導(dǎo)體級非接觸式伯努利吸盤,吸附均勻,低破率、更安全
  • 稼動率高,有效節(jié)約客戶成本
產(chǎn)品應(yīng)用
  • 晶圓尺寸
    4、6 英寸
  • 劃傷率
    ≤0.03%
  • 通訊響應(yīng)時間
    <0.5 秒
  • 裝卸響應(yīng)時間
    ≤12 秒
  • 適用領(lǐng)域
    半導(dǎo)體照明
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