首頁 產(chǎn)品&服務(wù) 半導(dǎo)體裝備 氣體測量控制 數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器

半導(dǎo)體裝備 Semiconductor

CS230

數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器

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CS230 數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器
CS230 Digital Mass Flow Meter/ Mass Flow Controller
CS230產(chǎn)品是七星流量計(jì)研發(fā)的中大流量產(chǎn)品,流量可達(dá)300SLM(氮?dú)猓?,并可?shí)現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式;產(chǎn)品采用高速控制算法,響應(yīng)速度快,流量精準(zhǔn)。產(chǎn)品具備低零漂、低溫漂性能,支持DeviceNet和RS485通訊協(xié)議。
設(shè)備特點(diǎn)
  • 采用精確的管式分流技術(shù)和新型電磁閥控制技術(shù)
  • 滿足大流量氣體產(chǎn)品的控制
  • CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電
  • 數(shù)字,模擬輸入輸出
  • 產(chǎn)品支持RS485,DeviceNet,EtherCAT等主流通訊方式
產(chǎn)品應(yīng)用
  • 流量規(guī)格(N?)
    50 SLM~300SLM
  • 準(zhǔn)確度
    ±1.0% S.P. (>35% F.S.)???? ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)
  • 重復(fù)精度
    ±0.2% F.S.
  • 響應(yīng)時(shí)間
    ≤ 2 sec
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