高純石墨主要應(yīng)用于半導(dǎo)體等對石墨雜質(zhì)要求非?？量痰念I(lǐng)域，北方華創(chuàng)真空研發(fā)采用化學(xué)凈化法，在高溫下，利用化學(xué)氣體對石墨進行凈化的設(shè)備與工藝，純化后的石墨總灰分可達(dá)到5ppm。