CVI330 化學(xué)氣相沉積爐
CVI330 Chemical vapor deposition furnace
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 多區(qū)控溫，更優(yōu)溫度均勻性，可拓寬客戶工藝需求
- 模塊化保溫設(shè)計(jì)，具有較低的保溫功率，降低能耗，助于發(fā)展低碳經(jīng)濟(jì)
- 通過(guò)模擬分析，設(shè)計(jì)合理的碳源分配系統(tǒng)，可滿足客戶多種產(chǎn)品工藝要求
- 自動(dòng)內(nèi)外室壓差控制系統(tǒng)，提升設(shè)備可靠性，延長(zhǎng)熱區(qū)使用壽命
- 更優(yōu)的快冷系統(tǒng)設(shè)計(jì)，冷卻效率更高，提高生產(chǎn)效率
- 多級(jí)冷凝和過(guò)濾裝置，提高設(shè)備穩(wěn)定性
- 技術(shù)指標(biāo)
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- 溫度范圍≤1160℃
- 有效區(qū)Φ3300×3800mm
- 溫度均勻性≤±10℃
- 分壓1000~10000Pa
- 壓升率50Pa/h
- 連續(xù)運(yùn)行時(shí)間≥350h
