ACE i300 去膠機(jī)
ACE i300 Asher
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 高密度低損傷等離子體源系統(tǒng)
- 大氣/真空傳輸雙配置,滿足不同去膠工藝需求
- 大產(chǎn)能,去膠速率快,高M(jìn)TBC
- 定制化軟件配置
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸8/12 英寸兼容
- 適用材料光刻膠
- 適用工藝干法去膠
- 適用領(lǐng)域集成電路、功率半導(dǎo)體