ELEDE? G380A/G380D 芯片刻蝕機(jī)
ELEDE? G380A/G380D Etcher
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 滿足多種材料刻蝕工藝應(yīng)用，工藝窗口寬
- 單托盤放置9片4英寸/4片6英寸晶圓，實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能，同時(shí)確保良好的刻蝕均勻性
- 全路徑全真空，全自動(dòng)晶片傳輸，顆?？刂苾?yōu)
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸2、4、6 英寸及特殊尺寸
- 適用材料氮化鎵、氧化硅/氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氮化硅、鎢化鈦、有機(jī)物等
- 適用工藝電極、深槽隔離、DBR、紅黃光、鈍化層、金屬阻擋層等刻蝕
- 適用領(lǐng)域半導(dǎo)體照明、Mini LED
