Pinnacle300 12英寸槽式清洗設(shè)備
Pinnacle300 12 Inch Wet Bench Clean Tool
- 設(shè)備特點
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- 可配備多藥液工藝槽,支持DIO?等附屬功能
- 軟件量身定制,具備快速更新能力
- 較高的溫度控制穩(wěn)定性
- 超高的補(bǔ)水精度
- 精準(zhǔn)的蝕刻速率控制
- 優(yōu)秀的干燥效果
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸12英寸
- 適用材料光阻、單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬膜、金屬氧化物