SC3080 12英寸單片清洗設(shè)備
SC3080 12 Inch Single Wafer Clean Tool
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 精密的腔室微環(huán)境控制能力
- 支持多種化學(xué)品
- 高效的化學(xué)品回收效率
- 4 腔或8腔可選
- 優(yōu)秀的干燥效果
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸12英寸
- 適用材料單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介質(zhì)膜、金屬膜
- 適用工藝后段Cu/Al 制程刻蝕后、Al Pad、背面清洗、背面刻蝕,后段控?fù)跗厥?/div>適用領(lǐng)域集成電路、先進(jìn)封裝、功率半導(dǎo)體、硅基微顯示