SC3080設(shè)備可同時(shí)配備多種藥液，主要用于12英寸后段和前段清洗工藝。該機(jī)臺(tái)主要由傳輸模塊、工藝模塊、藥液供給模塊、電源柜等組成，標(biāo)配8個(gè)腔室2套藥液系統(tǒng)，能夠進(jìn)行全自動(dòng)dry in dry out清洗工藝。