FLOURIS A201 8英寸立式低溫退火爐
FLOURIS A201 8 Inch Vertical Low-Temp Anneal Furnace
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 工藝溫度范圍擴(kuò)展性良好
- 溫度恢復(fù)性能優(yōu)良
- 低溫控制穩(wěn)定性好
- 系統(tǒng)可維護(hù)性好
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸8英寸
- 適用材料硅、碳化硅