THEORIS X302P 12英寸立式中溫氧化爐
THEORIS X302P 12 Inch Vertical Mid-Temp Oxidation Furnace
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 先進(jìn)顆?？刂萍夹g(shù)
- 高精度溫度場(chǎng)控制技術(shù)
- 先進(jìn)的微環(huán)境氧含量控制技術(shù)
- 高產(chǎn)能
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸12英寸
- 適用材料硅
- 適用工藝干氧氧化、濕氧氧化、DCE氧化、摻氮氧化、退火
- 適用領(lǐng)域集成電路、功率半導(dǎo)體、襯底材料
