VERIC O6151A SiC高溫氧化爐
VERIC O6151A SiC High-Temp Oxidator Furnace
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 溫度可達(dá)1500℃，溫區(qū)均勻性±1℃
- 膜厚均勻，WIW WTW 和RTR 一致性好
- 石墨電阻加熱，工藝腔室潔凈
- 自動(dòng)裝片，Cassette to Cassette
- 安全設(shè)計(jì)，符合CE\SEMI S6 標(biāo)準(zhǔn)
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸4/6英寸兼容
- 適用材料碳化硅
- 適用工藝干氧氧化 、濕氧、Ar/N? 退火、NO/N?O 退火、H? 退火、DCE清洗
- 適用領(lǐng)域化合物半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域
