eVictor Series 8英寸物理氣相沉積系統(tǒng)
eVictor Series 8 Inch PVD System
- 設(shè)備特點(diǎn)
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- 專業(yè)的加熱基座設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無(wú)累溫
- 高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力
- 背金工藝薄片傳輸及工藝，過(guò)程溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控，精確的溫度控制能力和良好應(yīng)力控制能力
- 雙腔傳輸平臺(tái)，可支持10 個(gè)工藝模塊
- 靶材利用率高，大產(chǎn)能，低運(yùn)營(yíng)成本
- 產(chǎn)品應(yīng)用
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- 晶圓尺寸8 英寸
- 適用材料鈦、氮化鈦、高溫鋁、 鎳、鎳釩、銀
- 適用工藝正面電極工藝、背面金屬化工藝
- 適用領(lǐng)域集成電路、功率半導(dǎo)體、科研領(lǐng)域、化合物半導(dǎo)體
