TCU Series 精密恒溫恒濕機
TCU Series Thermal Control Unit
- 設備特點
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- 精密溫濕度控制，確保曝光機、顯影/ 涂布設備等制程良率
- 可根據(jù)客戶需求風量定制，送風單元結(jié)構(gòu)均勻布置
- 溫度控制的精度可達目標溫度±0.01℃，確保產(chǎn)線環(huán)境的穩(wěn)定性及產(chǎn)品的良率
- 產(chǎn)品應用
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- 溫度控制精度±0.1℃~±0.01℃
- 濕度控制精度±2%RH~±1%RH
- 適用領域主要用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠精密溫濕度控制
相關產(chǎn)品
