助推集成電路產(chǎn)業(yè)騰飛，北方華創(chuàng)實(shí)現(xiàn)PVD設(shè)備工藝全覆蓋

PVD（物理氣相沉積）技術(shù)在芯片制造領(lǐng)域扮演著關(guān)鍵角色，特別是在金屬薄膜的制備方面。這些金屬薄膜作為芯片中互連線的重要組成部分，對(duì)整個(gè)芯片的性能具有至關(guān)重要的影響，每年全球市場(chǎng)容量達(dá)到50-60億美元。

北方華創(chuàng)作為中國(guó)PVD工藝裝備技術(shù)的開拓者，早在2008年就開始了PVD裝備的研發(fā)工作，經(jīng)過十六年的技術(shù)沉淀與創(chuàng)新突破，已發(fā)布多款量產(chǎn)型PVD設(shè)備，累計(jì)出貨超千腔，成為國(guó)內(nèi)PVD設(shè)備最大的解決方案提供商[1]。

[1] Gartner Semiconductor WFE Market share 2022

專業(yè)精湛·集成電路 Professional

集成電路技術(shù)作為半導(dǎo)體領(lǐng)域的核心，其制造裝備無疑是半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)中最精密復(fù)雜且至關(guān)重要的部分。

秉承著以客戶為中心的理念，北方華創(chuàng)致力于為行業(yè)和客戶提供穩(wěn)定、可靠的解決方案，推動(dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)邁向更高水平。

北方華創(chuàng)PVD事業(yè)部自成立以來先后突破了磁控濺射源設(shè)計(jì)、等離子體產(chǎn)生及控制、腔室設(shè)計(jì)與仿真模擬、顆?？刂?、軟件控制等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，建立起了核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化及對(duì)邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片金屬化制程的工藝覆蓋。截至2023年底，集成電路領(lǐng)域Cu（銅）互連、Al Pad（鋁墊層）、Metal Hardmask（金屬硬掩膜）、Metal Gate（金屬柵）、Silicide（硅化物）等工藝設(shè)備在客戶端的穩(wěn)定量產(chǎn)，成為多家客戶的基線設(shè)備，并均已成為行業(yè)優(yōu)選。其中，Metal Gate（金屬柵）PVD產(chǎn)品成功實(shí)現(xiàn)了28nm金屬柵核心工藝的量產(chǎn)突破；Cu（銅）互連PVD產(chǎn)品支持了Inter Metal（內(nèi)部互連線）和Top Metal（頂部互連線）工藝的批量生產(chǎn)；Al（鋁） PVD產(chǎn)品大批量應(yīng)用在邏輯、DRAM（動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器）、3D NAND（閃存）等不同領(lǐng)域，覆蓋Pad（鋁墊層）、RDL（再布線層）等所有工藝應(yīng)用。

北方華創(chuàng)PVD設(shè)備和工藝解決方案的成功應(yīng)用，不僅為整個(gè)行業(yè)提供了穩(wěn)定、高效的生產(chǎn)保障，更為華創(chuàng)樹立了良好的市場(chǎng)聲譽(yù)，贏得客戶信賴和產(chǎn)業(yè)界的高度贊譽(yù)，并榮獲多項(xiàng)北京市科技進(jìn)步獎(jiǎng)。

全面覆蓋·泛半導(dǎo)體 Various

精益求精，臻于至善。北方華創(chuàng)通過不斷研發(fā)和創(chuàng)新，以滿足半導(dǎo)體領(lǐng)域多樣化的市場(chǎng)需求?，F(xiàn)階段，北方華創(chuàng)PVD設(shè)備和工藝解決方案已成功實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體、先進(jìn)封裝、硅基微型顯示、MEMS、半導(dǎo)體照明等多個(gè)領(lǐng)域的量產(chǎn)應(yīng)用。

截至2023年底，北方華創(chuàng)PVD團(tuán)隊(duì)已開發(fā)出泛半導(dǎo)體領(lǐng)域30多種金屬化薄膜沉積工藝的系統(tǒng)性設(shè)備解決方案。其中，熱Al PVD產(chǎn)品具有優(yōu)異的Al填充能力，背金PVD產(chǎn)品具有良好的翹曲控制能力，這兩款PVD產(chǎn)品均已全面應(yīng)用于功率半導(dǎo)體正背面電極工藝的量產(chǎn)；Ti、Cu、TSV等PVD產(chǎn)品憑借低溫、低損傷、高覆蓋率等核心優(yōu)勢(shì)技術(shù)，大批量應(yīng)用于先進(jìn)封裝UBM、RDL、TSV工藝的量產(chǎn)；TiN、Al、AlN、ITO等PVD產(chǎn)品以其高均勻性、低粗糙度、低應(yīng)力、高結(jié)晶質(zhì)量等特點(diǎn)，有力支持了硅基微型顯示、MEMS、半導(dǎo)體照明領(lǐng)域客戶的研發(fā)及量產(chǎn)。

行業(yè)引領(lǐng) Distinguished 

近年，隨著芯片制程微縮和三維集成技術(shù)的發(fā)展和突破，PVD工藝領(lǐng)域正面臨前所未有的挑戰(zhàn)與機(jī)遇，北方華創(chuàng)在“推動(dòng)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，創(chuàng)造無限可能”的企業(yè)使命引領(lǐng)下，將矢志不渝地深耕半導(dǎo)體薄膜技術(shù)研發(fā)，緊跟汽車智能化及萬物互聯(lián)時(shí)代背景下集成電路行業(yè)的迫切需求，致力于構(gòu)筑面向未來的專業(yè)技術(shù)解決方案，憑借精良的PVD工藝性能和優(yōu)質(zhì)的專業(yè)服務(wù)體系為客戶賦能，攜手產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作伙伴，共同推動(dòng)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。